无人水下机器人也称无人潜水器，相应有无人遥控潜水器、无人自主潜水器和无人混合潜水器。通常在不产生混淆的情况下省略“无人”二字，如无人遥控潜水器可以称为遥控水下机器人或遥控潜水器等。
海洋机器人发展的历史大约有70年，经历了从载人到无人，从直接操作、遥控、自主到混合的主要阶段。加拿大国际潜艇工程公司创始人麦克法兰，将水下机器人的发展历史总结为四次---：次---出现在20世纪60年代，以潜水员潜水和载人潜水器的应用为主要标志；第二次---出现在70年代，seascan mk2混合型水下机器人arv，以遥控水下机器人迅速发展成为一个产业为标志；第三次---发生在90年代，以自主水下机器人走向成熟为标志；第四次---发生在21世纪，进入了各种类型水下机器人混合的发展阶段。
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20世纪70年代，船舶重工集团公司第七〇一研究所研制了用于打捞水下沉物的“鱼鹰”号载人潜水器，这是我国载人潜水器的开端。1986年，科学院沈阳自动化研究所和上海交通大学合作，研制成功我国台遥控水下机器人“海人一号”。90年代我国开始研制自主水下机器人，“探索者”、cr-01、cr-02、“智水”系列等先后完成研制任务。目前，上海交通大学研制的“海马”号遥控水下机器人工作水深已经达到4500米，科学院沈阳自动化研究所联合科学院海洋研究所共同研制的深海科考型rov系统下潜---达到5611米。近年来，我国海洋机器人更是经历了跨越式的发展。其中，“海翼”号深海---完成深海观测；有标志意义的“蛟龙”号载人潜水器将进入业务化运行；“海斗”号混合型水下机器人已经多次成功到达万米水深；“---”重点研发计划中全海深载人潜水器及全海深无人潜水器已陆续立项研制。海洋机器人的蓬勃发展正推动海洋研究进入“万米时代”。
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与水下机器人和潜水器对应的英文分别为underwater robot和underwater vehicle，前者强调仿人行为，后者意在水下运载或潜水，分别视为“人”和“器”，海洋机器人是在海洋环境中运载功能与仿人功能的结合体。应用需求的多样性使得运载与仿人功能的体现程度不尽相同，由此产生了各种功能型的海洋机器人，如观察型、作业型、巡航型和海底型等。如今，在海洋机器人领域robot和vehicle两词的内涵逐渐趋同。
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